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製品の詳細
製品機能：
◆設備は乾燥しているが、結合一体化構造はコンパクトで合理的で、半導体製造基準に合致している。
◆安定で信頼性の高いプロセス温度制御システム（英国WEST温度制御装置採用）。
◆米国輸入加熱ランプを用いて加熱する。
◆先進的なベンチュリ排気システムを採用し、有害ガスの漏れないようにした。
◆設備制御は工業制御機を用いて統一的に制御する。
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